⑴ 真空泵是用來干什麼的
真空泵廣泛用於冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。。
真空泵是利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構,立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用於小泵。
卧式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多採用此種結構。
泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵佔地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。
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乾式機械真空泵的應用:
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的乾式機械真空泵可以滿足要求;
4、在化學工業、醫葯工業、食品工業中的蒸餾、乾燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用乾式真空泵;
5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。